Università degli Studi di Trento
Facoltà di Ingegneria
 


 

Metallizzazioni su Silicio:

dalla Tecnologia Tradizionale dell’Alluminio
alle Nuove Interconnessioni in Rame

Michele Corrà - 1154IM
 
 


Corso: Metallurgia dei metalli non ferrosi.

Docente: Prof. D. Colombo

Anno Accademico 1998/99


Sommario:

1. Introduzione.

2. La Tecnologia Tradizionale: l’Alluminio.

2.1 Formazione del contatto ohmico.

2.2 "Spiking" della giunzione.

2.2.1 Barriere diffusive.

2.3 Elettromigrazione.

2.3.1 Aspetti fisici del fenomeno.

2.3.2 La divergenza del flusso.

2.3.3 Metodi per incrementare la resistenza all’elettromigrazione.

3. La Nuova Tecnologia: il Rame. 3.1 Alternative all’uso dell’alluminio.

3.2 Il rame come metallo di interconnessione.

3.3 La Copper Technology di IBM.

4. Appendice A: il processo Dual Damascene.

5. Bibliografia.

6. Indice delle figure.